表面平整度檢測

設備：表面平整度檢測儀Flat Master 200 SAW

廠商：美國Corporation Corning Tropel

用途：能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進行精密測量適用于，檢測SiC、GaN、藍寶石和玻璃等透明材料。

技術(shù)指標：

l 無接觸和無損傷測試

l 度：50nm （2.0μ″）

l 重復性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）

l 分辨率：5nm （0.2μ″）

l 適用2英寸,4英寸,6英寸,8英寸

l 適應于多種類型表面：研磨面、拋光面、超光滑面